[发明专利]收集装置无效
| 申请号： | 200510053050.7 | 申请日： | 2000-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN1769684A | 公开（公告）日： | 2006-05-10 |
| 发明（设计）人： | 野村典彦;野路伸治 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | F04B37/16 | 分类号： | F04B37/16;H01L21/02 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 蔡胜利 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 搜索关键词： | 收集 装置 | ||
【说明书】：
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