[发明专利]光学式位移测量装置有效
| 申请号： | 200510055006.X | 申请日： | 2005-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN1667366A | 公开（公告）日： | 2005-09-14 |
| 发明（设计）人： | 大塚节律 | 申请（专利权）人： | 三丰株式会社 |
| 主分类号： | G01D5/38 | 分类号： | G01D5/38;G01D5/32 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 李贵亮;杨梧 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光学 位移 测量 装置 | ||
【说明书】：
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