[发明专利]细缝喷嘴和基板处理装置有效
| 申请号： | 200510055171.5 | 申请日： | 2005-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN1669665A | 公开（公告）日： | 2005-09-21 |
| 发明（设计）人： | 池田文彦;古村智之;楫屋裕之 | 申请（专利权）人： | 大日本网目版制造株式会社 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 高龙鑫;潘培坤 |
| 地址： | 日本京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 细缝 喷嘴 处理 装置 | ||
【权利要求书】：
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