[发明专利]半导体微型器件无效
申请号: | 200510055867.8 | 申请日: | 2005-03-15 |
公开(公告)号: | CN1697160A | 公开(公告)日: | 2005-11-16 |
发明(设计)人: | 大谷浩 | 申请(专利权)人: | 三菱电机株式会社 |
主分类号: | H01L23/00 | 分类号: | H01L23/00;H01L23/495;H01L23/28;H01L29/84;G01L9/04;G01P15/125 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 张天安 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 微型 器件 | ||
【说明书】:
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