[发明专利]多晶栅导电层构成的集成微机电系统器件及其制备方法无效
| 申请号： | 200510058833.4 | 申请日： | 2005-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN1651333A | 公开（公告）日： | 2005-08-10 |
| 发明（设计）人： | 李刚 | 申请（专利权）人： | 李刚 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;H01L21/70 |
| 代理公司： | 北京君尚知识产权代理事务所 | 代理人： | 俞达成 |
| 地址： | 100871北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多晶 导电 构成 集成 微机 系统 器件 及其 制备 方法 | ||
【说明书】：
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