[发明专利]压电膜的制造方法、基板和压电膜的层叠结构、压电激励器及其制造方法有效
| 申请号： | 200510058844.2 | 申请日： | 2005-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN1676667A | 公开（公告）日： | 2005-10-05 |
| 发明（设计）人： | 安井基博;明渡纯 | 申请（专利权）人： | 兄弟工业株式会社;独立行政法人产业技术综合研究所 |
| 主分类号： | C23C24/04 | 分类号： | C23C24/04;H01L41/22;H01L41/08 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压电 制造 方法 层叠 结构 激励 及其 | ||
【说明书】：
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