[发明专利]一种具有在线清洗功能的磁控溅射靶及其应用方法有效
| 申请号： | 200510063432.8 | 申请日： | 2005-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN1844448A | 公开（公告）日： | 2006-10-11 |
| 发明（设计）人： | 刘阳 | 申请（专利权）人： | 北京实力源科技开发有限责任公司;刘阳 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京中誉威圣知识产权代理有限公司 | 代理人： | 丛芳;廖立全 |
| 地址： | 100070北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 具有 在线 清洗 功能 磁控溅射 及其 应用 方法 | ||
【权利要求书】：
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