[发明专利]化学增幅型正型光致抗蚀剂组合物无效
| 申请号： | 200510064839.2 | 申请日： | 2005-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN1680875A | 公开（公告）日： | 2005-10-12 |
| 发明（设计）人： | 宫城贤;馆俊聪;丸山健治;高木勇 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;G03F7/004 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 朱丹 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 化学 增幅 型正型光致抗蚀剂 组合 | ||
【权利要求书】：
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