[发明专利]平版印刷装置和器件制造方法有效
| 申请号： | 200510069735.0 | 申请日： | 2005-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN1684002A | 公开（公告）日： | 2005-10-19 |
| 发明（设计）人： | C·－Q·贵;A·J·A·布鲁因斯马;P·W·H·德亚格尔;W·J·韦内马 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 程天正;张志醒 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 平版印刷 装置 器件 制造 方法 | ||
【说明书】：
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