[发明专利]一种微纳结构的惯性传感器本体及其制作方法无效
| 申请号： | 200510071148.5 | 申请日： | 2005-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN1865124A | 公开（公告）日： | 2006-11-22 |
| 发明（设计）人： | 叶雄英;谭苗苗;周兆英;王晓皓 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B82B1/00;G01C19/00;G01P15/00 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 高存秀 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 结构 惯性 传感器 本体 及其 制作方法 | ||
【说明书】：
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