[发明专利]抛光设备无效
| 申请号： | 200510071629.6 | 申请日： | 2005-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN1683112A | 公开（公告）日： | 2005-10-19 |
| 发明（设计）人： | 宫小忠一;岸田敬实 | 申请（专利权）人： | 不二越机械工业株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 顾峻峰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 抛光 设备 | ||
【说明书】：
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