[发明专利]镀膜源、真空镀膜装置、有机EL面板的制造方法和有机EL面板无效
| 申请号： | 200510071935.X | 申请日： | 2005-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN1704501A | 公开（公告）日： | 2005-12-07 |
| 发明（设计）人： | 增田大辅;安彦浩志;梅津茂裕 | 申请（专利权）人： | 日本东北先锋公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54;H05B33/10 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李辉 |
| 地址： | 日本山形*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 镀膜 真空镀膜 装置 有机 el 面板 制造 方法 | ||
【说明书】：
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