[发明专利]球形半导体颗粒的批量生产方法和设备无效
申请号: | 200510072998.7 | 申请日: | 2001-11-26 |
公开(公告)号: | CN1706993A | 公开(公告)日: | 2005-12-14 |
发明(设计)人: | 浜川圭弘;室园干男;高仓秀行;山口由岐夫;山形顺;安田英典 | 申请(专利权)人: | 珂琳21风险投资株式会社 |
主分类号: | C30B13/00 | 分类号: | C30B13/00;C30B15/00;C30B29/00 |
代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人: | 王玉双;潘培坤 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 球形 半导体 颗粒 批量 生产 方法 设备 | ||
【说明书】:
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