[发明专利]阵列微细型孔的电化学加工工艺无效
| 申请号： | 200510073178.X | 申请日： | 2005-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN1699006A | 公开（公告）日： | 2005-11-23 |
| 发明（设计）人： | 李勇;龚姗姗;陈旭鹏;彭良强 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | B23H3/00 | 分类号： | B23H3/00;B23H3/04;B23H9/16 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李光松 |
| 地址： | 100084北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 阵列 微细 电化学 加工 工艺 | ||
【权利要求书】：
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