[发明专利]利用光学干涉图样的自动检验系统和方法无效
| 申请号： | 200510073961.6 | 申请日： | 2000-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN1728184A | 公开（公告）日： | 2006-02-01 |
| 发明（设计）人： | 保罗·G·库姆斯;唐纳德·M·弗里德里克;肯·D·卡德尔;柯蒂斯·R·鲁斯卡;查尔斯·T·马尔坎特斯 | 申请（专利权）人： | JDS单相公司 |
| 主分类号： | G07D7/12 | 分类号： | G07D7/12;G07D7/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 田军锋;车文 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 利用 光学 干涉 图样 自动 检验 系统 方法 | ||
【权利要求书】：
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