[发明专利]窄条选择外延技术制作铝铟镓砷掩埋脊波导激光器及方法无效
| 申请号： | 200510073984.7 | 申请日： | 2005-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN1870368A | 公开（公告）日： | 2006-11-29 |
| 发明（设计）人： | 冯文;潘教青;赵玲娟;朱洪亮;王圩 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H01S5/22 | 分类号： | H01S5/22;H01S5/343 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 段成云 |
| 地址： | 100083北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 选择 外延 技术 制作 铝铟镓砷 掩埋 波导 激光器 方法 | ||
【说明书】：
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