[发明专利]小型电容耦合等离子反应器/生成器及方法无效
| 申请号： | 200510074943.X | 申请日： | 2001-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN1700404A | 公开（公告）日： | 2005-11-23 |
| 发明（设计）人： | K－C·R·赵 | 申请（专利权）人： | 中慧科技公司(美商) |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01J37/00;H05H1/34 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 戈泊;程伟 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 小型 电容 耦合 等离子 反应器 生成器 方法 | ||
【权利要求书】：
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