[发明专利]图像产生方法和用于检查基板的照明装置无效
| 申请号： | 200510080975.0 | 申请日： | 2005-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN1717171A | 公开（公告）日： | 2006-01-04 |
| 发明（设计）人： | 栗山淳;石羽正人;村上清;田谷辉久 | 申请（专利权）人： | 欧姆龙株式会社 |
| 主分类号： | H05K13/00 | 分类号： | H05K13/00;G01N21/956;H05B37/00 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张龙哺;郑特强 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 图像 产生 方法 用于 检查 照明 装置 | ||
【说明书】：
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