[发明专利]以能量耗散层改进低介电常数电介质器件的稳定性无效
| 申请号： | 200510083277.6 | 申请日： | 2005-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN1728374A | 公开（公告）日： | 2006-02-01 |
| 发明（设计）人： | 陈行聪;斯特法尼·R·奇拉斯;迈克尔·莱恩;林庆煌;罗伯特·罗森伯格;托马斯·M·肖;特里·A·斯普纳尔 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | H01L23/52 | 分类号： | H01L23/52;H01L21/31;H01L21/768 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 付建军 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 能量 耗散 改进 介电常数 电介质 器件 稳定性 | ||
【说明书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于国际商业机器公司，未经国际商业机器公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200510083277.6/2.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
