[发明专利]交错阵列式靶砖无效
| 申请号： | 200510084458.0 | 申请日： | 2005-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN1718846A | 公开（公告）日： | 2006-01-11 |
| 发明（设计）人： | 阿维·泰普曼 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 任永武 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 交错 阵列 式靶砖 | ||
【说明书】：
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