[发明专利]用于保持密封容器内高真空的低温吸附组合抽气装置有效
申请号: | 200510086355.8 | 申请日: | 2005-09-05 |
公开(公告)号: | CN1928360A | 公开(公告)日: | 2007-03-14 |
发明(设计)人: | 杨海清;黎红;何艾生;李春光;张雪强;黄建冬;张强;孙亮;孟庆端;李翡;何豫生 | 申请(专利权)人: | 中国科学院物理研究所 |
主分类号: | F04B37/02 | 分类号: | F04B37/02 |
代理公司: | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 | 代理人: | 高存秀 |
地址: | 100080北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 保持 密封 容器 真空 低温 吸附 组合 装置 | ||
【说明书】:
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