[发明专利]具有分割式串连电极的硅微压电传感器芯片及其制备方法无效
| 申请号： | 200510086861.7 | 申请日： | 2005-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN1964581A | 公开（公告）日： | 2007-05-16 |
| 发明（设计）人： | 汪承灏;杨楚威;黄歆;李俊红;乔东海;解述 | 申请（专利权）人： | 中国科学院声学研究所 |
| 主分类号： | H04R17/02 | 分类号： | H04R17/02;H04R31/00;H01L41/08;H01L41/22 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 高存秀 |
| 地址： | 100080北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 分割 串连 电极 压电 传感器 芯片 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
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