[发明专利]精密多线切割和研磨用切磨粉体材料无效
申请号: | 200510086961.X | 申请日: | 2005-11-23 |
公开(公告)号: | CN1970645A | 公开(公告)日: | 2007-05-30 |
发明(设计)人: | 朱蓉辉;惠峰;卜俊鹏;郑红军 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | C09C1/68 | 分类号: | C09C1/68 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 段成云 |
地址: | 100083北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 精密 切割 研磨 磨粉 材料 | ||
【权利要求书】:
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