[发明专利]多腔等离子体处理系统有效
| 申请号： | 200510087625.7 | 申请日： | 2005-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN1897786A | 公开（公告）日： | 2007-01-17 |
| 发明（设计）人： | 魏淳任 | 申请（专利权）人： | 新动力等离子体株式会社 |
| 主分类号： | H05H1/02 | 分类号： | H05H1/02;H05H1/24 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 钟强;关兆辉 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 等离子体 处理 系统 | ||
【权利要求书】：
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