[发明专利]去除光刻胶的方法以及再生光刻胶的方法无效
| 申请号： | 200510089655.1 | 申请日： | 2005-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN1912749A | 公开（公告）日： | 2007-02-14 |
| 发明（设计）人： | 钟联盛;魏其宏;林信旭 | 申请（专利权）人： | 联华电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;G03F7/26;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 封新琴;巫肖南 |
| 地址： | 台湾省新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 去除 光刻 方法 以及 再生 | ||
【权利要求书】：
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