[发明专利]显像装置和显像方法有效
| 申请号： | 200510090339.6 | 申请日： | 2005-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN1737692A | 公开（公告）日： | 2006-02-22 |
| 发明（设计）人： | 山本太郎;大河内厚;竹口博史;吉原孝介 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;G03F7/26;B05B1/26;B05C5/00;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 显像 装置 方法 | ||
【权利要求书】：
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