[发明专利]产光酸聚合物、其制法及包含它的顶部抗反射涂布组合物有效
| 申请号： | 200510092116.3 | 申请日： | 2005-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN1789294A | 公开（公告）日： | 2006-06-21 |
| 发明（设计）人： | 郑傤昌;卜喆圭;林昌文;文承灿 | 申请（专利权）人： | 海力士半导体有限公司 |
| 主分类号： | C08F220/10 | 分类号： | C08F220/10;C08F220/52;C08F232/08;C08F4/32;G03F7/11 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 封新琴;巫肖南 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 产光酸 聚合物 制法 包含 顶部 反射 组合 | ||
【说明书】：
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