[发明专利]用于生产印刷电路板的投影曝光装置和投影曝光方法有效
| 申请号： | 200510099146.7 | 申请日： | 2005-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN1743961A | 公开（公告）日： | 2006-03-08 |
| 发明（设计）人： | 中川涉;桥本一范 | 申请（专利权）人： | 株式会社阿迪泰克工程 |
| 主分类号： | G03F7/23 | 分类号： | G03F7/23;G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 生产 印刷 电路板 投影 曝光 装置 方法 | ||
【权利要求书】：
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