[发明专利]自动派工方法及系统以及以此方法制造的集成电路产品无效
| 申请号： | 200510105191.9 | 申请日： | 2005-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN1763666A | 公开（公告）日： | 2006-04-26 |
| 发明（设计）人： | 梁柏雄;许显荣;汪明 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G05B15/02 | 分类号： | G05B15/02;G06F17/00;G06F17/30;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 台湾省新竹科学*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 自动 方法 系统 以及 以此 制造 集成电路 产品 | ||
【说明书】：
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