[发明专利]使用具有非平坦部分的背板保护微机电系统阵列的系统和方法无效
| 申请号： | 200510105835.4 | 申请日： | 2005-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN1762786A | 公开（公告）日： | 2006-04-26 |
| 发明（设计）人： | 布莱恩·J·加利;洛朗·帕尔马蒂尔;威廉·J·卡明斯 | 申请（专利权）人： | IDC公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81B5/00;G02B26/00;G02F1/21 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 王允方 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 使用 具有 平坦 部分 背板 保护 微机 系统 阵列 方法 | ||
【权利要求书】：
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