[发明专利]基板输送装置无效
| 申请号： | 200510107959.6 | 申请日： | 2005-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN1754796A | 公开（公告）日： | 2006-04-05 |
| 发明（设计）人： | 田上真也 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | B65G49/07 | 分类号： | B65G49/07;H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 输送 装置 | ||
【说明书】：
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