[发明专利]TFT测定方法无效
| 申请号： | 200510107970.2 | 申请日： | 2005-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN1760685A | 公开（公告）日： | 2006-04-19 |
| 发明（设计）人： | 宮本隆 | 申请（专利权）人： | 安捷伦科技公司 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01M11/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 王允方 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | tft 测定 方法 | ||
【说明书】：
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