[发明专利]布线图案及膜图案形成方法、半导体装置、电光学装置及电子机器无效
| 申请号： | 200510108429.3 | 申请日： | 2005-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN1770959A | 公开（公告）日： | 2006-05-10 |
| 发明（设计）人： | 守屋克之;平井利充 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H05K3/14 | 分类号： | H05K3/14;H01L21/50 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李香兰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 布线 图案 形成 方法 半导体 装置 光学 电子 机器 | ||
【说明书】：
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