[发明专利]电子源、以及包括这种电子源的带电粒子设备有效
申请号: | 200510108934.8 | 申请日: | 2005-09-23 |
公开(公告)号: | CN1808683A | 公开(公告)日: | 2006-07-26 |
发明(设计)人: | N·德荣格;E·P·A·M·巴克斯;L·F·菲纳;A·M·卡沃萨 | 申请(专利权)人: | FEI公司;皇家飞利浦电子股份有限公司 |
主分类号: | H01J37/06 | 分类号: | H01J37/06;H01J37/26;H01J9/02 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 杨凯;张志醒 |
地址: | 美国俄*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电子 以及 包括 这种 带电 粒子 设备 | ||
【说明书】:
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