[发明专利]电解抛光液和其平坦化金属层的方法无效
| 申请号： | 200510109406.4 | 申请日： | 2005-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN1952221A | 公开（公告）日： | 2007-04-25 |
| 发明（设计）人： | 谢嘉民;刘书宏;戴宝通 | 申请（专利权）人： | 伊默克化学科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C25F3/22 | 分类号： | C25F3/22;H01L21/3063;H01L21/465 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 刘国伟;王允方 |
| 地址： | 中国*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电解 抛光 平坦 金属 方法 | ||
【权利要求书】：
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