[发明专利]电解抛光液和其平坦化金属层的方法无效
申请号: | 200510109406.4 | 申请日: | 2005-10-18 |
公开(公告)号: | CN1952221A | 公开(公告)日: | 2007-04-25 |
发明(设计)人: | 谢嘉民;刘书宏;戴宝通 | 申请(专利权)人: | 伊默克化学科技股份有限公司 |
主分类号: | C25F3/22 | 分类号: | C25F3/22;H01L21/3063;H01L21/465 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 刘国伟;王允方 |
地址: | 中国*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电解 抛光 平坦 金属 方法 | ||
【权利要求书】:
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