[发明专利]一种性能优化的(Ba,Zr)TiO3铁电薄膜及其制备方法无效
| 申请号： | 200510110914.4 | 申请日： | 2005-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN1978071A | 公开（公告）日： | 2007-06-13 |
| 发明（设计）人： | 翟继卫;高成 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | B05D1/38 | 分类号： | B05D1/38;B05D5/12;H01L41/22 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 | 代理人： | 余明伟;沈锡英 |
| 地址： | 200092上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 性能 优化 ba zr tio sub 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【说明书】：
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