[发明专利]用于校验光刻中的分辨率增强技术和光学邻近校正的方法无效
| 申请号： | 200510114979.6 | 申请日： | 2005-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN1776695A | 公开（公告）日： | 2006-05-24 |
| 发明（设计）人： | L·W·利布曼;I·C·格劳尔;J·A·卡尔普;M·慕克尔吉 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50;G03F1/00 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 于静;杨晓光 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 校验 光刻 中的 分辨率 增强 技术 光学 邻近 校正 方法 | ||
【权利要求书】：
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