[发明专利]硅基片上制备镧钡锰氧功能薄膜的方法无效
申请号: | 200510115765.0 | 申请日: | 2005-11-11 |
公开(公告)号: | CN1752268A | 公开(公告)日: | 2006-03-29 |
发明(设计)人: | 蒋毅坚;常雷;龚小南 | 申请(专利权)人: | 北京工业大学 |
主分类号: | C23C14/00 | 分类号: | C23C14/00;C23C14/28;C23C14/02;C23C14/08;C23C14/54 |
代理公司: | 北京思海天达知识产权代理有限公司 | 代理人: | 张慧 |
地址: | 100022*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硅基片上 制备 镧钡锰氧 功能 薄膜 方法 | ||
【权利要求书】:
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