[发明专利]统计制程分析系统、计算机执行的用于统计制程分析方法有效
申请号: | 200510115878.0 | 申请日: | 2005-11-10 |
公开(公告)号: | CN1790312A | 公开(公告)日: | 2006-06-21 |
发明(设计)人: | 黄明彰;陈明发 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | G06F17/00 | 分类号: | G06F17/00;G06F17/40;G06F19/00;G06Q50/00;G05B19/418;G05B23/00;H01L21/00;H01L21/02 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人: | 刘新宇;罗迎难 |
地址: | 台湾省新竹科学*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 统计 分析 系统 计算机 执行 用于 方法 | ||
【权利要求书】:
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