[发明专利]二氧化硅涂膜形成用组合物、二氧化硅涂膜及其制造方法、以及电子部件无效
| 申请号： | 200510117095.6 | 申请日： | 2003-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN1769349A | 公开（公告）日： | 2006-05-10 |
| 发明（设计）人： | 樱井治彰;阿部浩一;榎本和宏;野部茂 | 申请（专利权）人： | 日立化成工业株式会社 |
| 主分类号： | C08L83/04 | 分类号： | C08L83/04;H01L21/31 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 钟晶 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 二氧化硅 形成 组合 及其 制造 方法 以及 电子 部件 | ||
【权利要求书】：
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