[发明专利]表面性状测定用探针以及采用该探针的显微镜有效
| 申请号： | 200510117193.X | 申请日： | 2005-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN1769860A | 公开（公告）日： | 2006-05-10 |
| 发明（设计）人： | 日高和彦 | 申请（专利权）人： | 株式会社三丰 |
| 主分类号： | G01N13/10 | 分类号： | G01N13/10;G01N13/12;G01N13/14;G01N13/16;G01B11/30;G12B21/02;G12B21/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 | 代理人： | 韩登营 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 表面 性状 测定 探针 以及 采用 显微镜 | ||
【权利要求书】：
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