[发明专利]抛光垫修整装置及修整方法无效
| 申请号： | 200510121363.1 | 申请日： | 2005-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN1792553A | 公开（公告）日： | 2006-06-28 |
| 发明（设计）人： | 魏昕;熊伟;袁慧;胡伟 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | B24B53/12 | 分类号： | B24B53/12;B24B53/02;B24B37/04;H01L21/304 |
| 代理公司： | 广州粤高专利代理有限公司 | 代理人： | 林丽明 |
| 地址： | 510090广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 抛光 修整 装置 方法 | ||
【说明书】：
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