[发明专利]冷却盘、烘焙单元和基板处理设备有效
| 申请号： | 200510123421.4 | 申请日： | 2005-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN1955849A | 公开（公告）日： | 2007-05-02 |
| 发明（设计）人： | 崔晋荣;咸俊镐;金泰洙;李东法 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/26 | 分类号： | G03F7/26;H01L21/027;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 武玉琴;胡育昌 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 冷却 烘焙 单元 处理 设备 | ||
【权利要求书】：
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