[发明专利]相异材料的气相沉积无效
| 申请号： | 200510125476.9 | 申请日： | 2005-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN1776001A | 公开（公告）日： | 2006-05-24 |
| 发明（设计）人： | I·V·贝洛索夫;I·S·马拉申科;G·A·塞尔希延科;A·N·舍尔科沃伊;R·L·梅门;D·A·拉茨;M·D·金斯特勒 | 申请（专利权）人： | 联合工艺公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/14 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 范赤;段晓玲 |
| 地址： | 美国康*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 相异 材料 沉积 | ||
【说明书】：
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