[发明专利]具有纳米厚度的润滑薄膜的制备方法无效
申请号: | 200510126582.9 | 申请日: | 2005-11-30 |
公开(公告)号: | CN1978600A | 公开(公告)日: | 2007-06-13 |
发明(设计)人: | 刘维民;于波;周峰;刘刚;梁永民 | 申请(专利权)人: | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
主分类号: | C10M107/06 | 分类号: | C10M107/06;H01L21/00;B81C1/00;C10N50/02 |
代理公司: | 兰州中科华西专利代理有限公司 | 代理人: | 方晓佳 |
地址: | 730000甘肃*** | 国省代码: | 甘肃;62 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 纳米 厚度 润滑 薄膜 制备 方法 | ||
【说明书】:
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