[发明专利]电磁聚焦装置及使用该装置的电子束光刻系统无效
| 申请号： | 200510126974.5 | 申请日： | 2005-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN1794092A | 公开（公告）日： | 2006-06-28 |
| 发明（设计）人： | 文昌郁;金东洙;宋命坤;李升运;吴润相 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 李晓舒;魏晓刚 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电磁 聚焦 装置 使用 电子束光刻 系统 | ||
【说明书】：
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