[发明专利]弹性连接一大面积靶的方法无效
| 申请号： | 200510127176.4 | 申请日： | 2005-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN1873049A | 公开（公告）日： | 2006-12-06 |
| 发明（设计）人： | 希恩明·H·礼;细川昭博 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 上海新高专利商标代理有限公司 | 代理人： | 楼仙英 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 弹性 连接 大面积 方法 | ||
【说明书】：
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