[发明专利]金属薄膜连续电沉积装置及其方法有效
| 申请号： | 200510127810.4 | 申请日： | 2005-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN1793434A | 公开（公告）日： | 2006-06-28 |
| 发明（设计）人： | 卢志超;倪晓俊;张俊峰;孙克;刘天成;张宏浩;韩伟;李德仁;周少雄 | 申请（专利权）人： | 钢铁研究总院;安泰科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C25D1/04 | 分类号： | C25D1/04 |
| 代理公司： | 北京中安信知识产权代理事务所 | 代理人： | 金向荣 |
| 地址： | 100081*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 金属 薄膜 连续 沉积 装置 及其 方法 | ||
【说明书】：
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