[发明专利]光刻装置以及器件制造方法无效
| 申请号： | 200510128823.3 | 申请日： | 2005-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN1782886A | 公开（公告）日： | 2006-06-07 |
| 发明（设计）人： | J·J·M·巴塞曼斯;S·N·L·多德斯;C·A·霍根达姆;J·J·S·M·梅坦斯;J·C·H·穆肯斯;B·斯特里克 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 赵辛 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光刻 装置 以及 器件 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
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