[发明专利]产生掺杂剂气体物质的方法无效
| 申请号： | 200510132021.X | 申请日： | 2005-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN1807705A | 公开（公告）日： | 2006-07-26 |
| 发明（设计）人： | G·吕丁;S·萨托 | 申请（专利权）人： | 应用材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/06 | 分类号： | C30B31/06;C30B31/16;C30B25/14;C23C16/448;H01L21/205;H01L21/383 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵蓉民 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 产生 掺杂 气体 物质 方法 | ||
【权利要求书】：
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